半导体行业跟踪报告之十三-半导体设备：刻蚀和薄膜举足轻重，关注中微拓荆华创.pdf

证券研究报告半导体设备：刻蚀和薄膜举足轻重，关注中微拓荆华创2024年4月3日作者：刘凯执业证书编号：S0930517100002于文龙执业证书编号：S0930522100002联系人：黄筱茜——半导体行业跟踪报告之十三请务必参阅正文之后的重要声明目录21、刻蚀和薄膜沉积设备至关重要2、刻蚀：3DNAND和先进逻辑制程将大幅提升刻蚀的重要性3、薄膜沉积：在先进逻辑和存储领域应用广泛4、中微公司：中国刻蚀和MOCVD设备龙头积极布局薄膜和检测市场5、拓荆科技：中国薄膜沉积设备龙头卡位键合设备市场6、北方华创：中国半导体设备领军企业在刻蚀和薄膜领域积累深厚7、投资建议：重点关注中微公司/拓荆科技/北方华创8、风险提示请务必参阅正文之后的重要声明3全球集成电路市场规模保持持续增长趋势。根据Gartner数据，2023年全球集成电路市场规模为5,330亿美元，预计2024年将会复苏至6,300亿美元。晶圆厂的产能扩建将引领半导体设备需求的持续增长。根据SEMI预测，在2022年至2026年期间，下游芯片制造厂商将持续扩充产能，以满足需求增长。2022年全球半导体制造厂商300mm晶圆厂产能每月约为700万片，预计2026年将增加至每月960万片的历史新高。中国大陆也将持续推动300mm前端晶圆厂产能增长，将全球份额从2022年的22%增加到2026年的25%，达到每月240万片晶圆。2023年全球集成电路前道设备市场约为950亿美元，同比增长0.9%。中国大陆、中国台湾地区和韩国是最大的区域市场，其中中国大陆市场规模约为330亿美元，占比超过1/3；中国台湾地区市场规模为179亿美元，占比约为19%。图1：全球集成电路市场规模变化（单位：亿美元）资料来源：Gartner，中微公司2023年年报1.1、2023年中国大陆持续成为全球最大的集成电路设备市场图2：2023年集成电路前段设备全球市场规模分布资料来源：SEMI，中微公司2023年年报请务必参阅正文之后的重要声明41.1、2011-2021年前道各种设备刻蚀和薄膜设备增长最快图3：2011年到2021年半导体芯片前道设备市场规模年均增速资料来源：Gartner，中微公司2023年半年报由于光刻机的波长限制，加上存储器从2D到3D的转变，等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备的市场增长速度超过光刻机和其他设备。微观器件的不断缩小推动了器件结构和加工制成的革命性变化，存储器件从2D到3D的转换，使等离子体刻蚀和薄膜制程成为最关键的步骤，对这两类设备的需求量大大增加。光刻机由于波长的限制，更小的微观结构要靠等离子体刻蚀和薄膜的组合拳“二重模板”和“四重模板”工艺技术来加工，刻蚀机和薄膜设备的重要性不断提高，近年来市场的年平均增长速度远高于其他的设备。根据Gartner，干法刻蚀和化学薄膜设备在2011到2021年间市场规模年均增速为16.39%和13.41%。请务必参阅正文之后的重要声明51.2、A股半导体设备重点公司销售额市场占比较低表1：18家A股半导体设备重点公司在我国半导体设备市场的份额测算资料来源：Wind，SEMI，光大证券研究所注：1）全球及中国半导体设备销售额2018-2022年数据来源为Wind,2023年数据来源为SEMI；2）按人民币：美元2018-2023年平均汇率为7:1进行销售额的折算；3）我们选择中微公司、北方华创、精测电子、至纯科技、芯源微、盛美上海、拓荆科技、华海清科、中科飞测、微导纳米、万业企业、富创精密、美埃科技、光力科技、长川科技、华峰测控、深科达、金海通共18家A股上市公司作为我国半导体设备重点公司的样本；4）截至2024年4月2日，重点公司中仅中微公司、盛美上海发布2023年年报。201820192020202120222023半导体设备业务营收口径全球半导体设备销售额（单位：亿美元）6455987121,0261,0761,056中国半导体设备销售额（单位：亿美元）131135187296282363全球半导体设备销售额（单位：亿元）4,5174,1834,9837,1857,5357,392中国半导体设备销售额（单位：亿元）9179421,3112,0741,9762,538半导体设备业务营收（单位：亿元）中微公司13.9815.8717.9925.0738.4751.66*专用设备北方华创25.2131.9148.6979.49120.84*电子工艺设备精测电子0.050.651.361.83*半导体至纯科技0.822.187.017.94*19-21年半导体设备；22年设备业务芯源微2.073.188.1313.60*半导体类设备盛美上海5.397.449.7515.4727.5637.15*18-20为总营收减去其他业务；21-22年为半导体设备拓荆科技0.672.474.297.4516.86*半导体设备减去其他业务华海清科0.321.953.536.9414.31*CMP设备中科飞测-U0.290.552.383.595.03*检测设备+量测设备微导纳米0.422.163.124.286.84*设备制造万业企业0.580.840.221.232.06*专用设备制造富创精密2.182.494.738.2912.94*18-21年为总营收减去其他业务；22年为半导体行业美埃科技6.177.758.4410.319.81*18-21年为过滤器+风机过滤系统+空气净化设备；22年为过滤器光力科技0.450.460.382.353.21*半导体精密加工类产品长川科技2.043.637.3814.2523.71*分选机+测试机华峰测控1.982.353.698.2110.15*测试系统深科达0.220.41.212.771.94*半导体自动化设备金海通0.711.824.24.26*半导体设备合计83.92123.63210.40321.36市场占比9%9%10%16%请务必参阅正文之后的重要声明61.2、A股半导体设备重点公司存货持续增加表2：A股半导体设备重点公司2022-2023年各季度末存货情况（单位：亿元）资料来源：Wind，光大证券研究所注：截至2024年4月2日，重点公司中仅中微公司、盛美上海发布2023年年报2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22023Q32023Q4688012.SH中微公司20.9524.8732.4034.0237.0538.0540.9142.60002371.SZ北方华创97.12107.10115.74130.41150.12167.28173.29300567.SZ精测电子10.0012.0313.6013.5414.0814.6915.64603690.SH至纯科技12.7214.0016.0817.0520.6823.7728.73688037.SH芯源微10.8211.6612.8712.1314.4015.7316.80688082.SH盛美上海17.2819.3723.0826.9031.5633.1536.0539.25688072.SH拓荆科技12.9415.6320.9022.9727.1732.883